الميكانيكية صقله شوارد الرملي أكسيد
هي الفرعية ميكرون الفضة خطوط منقوشة بتطبيق تلميع الميكانيكية الكيميائية (CMP). وحفرت الجاف SiO2تمتلئ الخنادق Ag بالاخرق قبل إزالة Ag الفائض من العديد من الأساليب CMP. تقنيات استخدام ملاط التي تركز على صقل الميكانيكية لدى مشكلة في تحقيق إزالة مستو من المعدن. ولكن مع التلميع الكيميائية أساسا لإزالة متجانسة مع الخطوط المضمنة المناسبة الممكن. قوية، حرارياً وسلس من خطوط التلميع Ag هي نتيجة لهذه العملية.
